氣動元件
超高精度LEGEX 574
用於位置檢測的長度測量單元配備了超高精度測量單元，超高精度微晶玻璃尺和高分辨力、高性能反射線性編碼器的組合，具有極高的位置檢測能力，可實現超高精度的機器控制功能。
品牌
三豐 Mitutoyo
規格
| 項目 | LEGEX574 |
|---|---|
| 測定範圍 X軸 (mm) | 500 |
| 測定範圍 Y軸 (mm) | 700 |
| 測定範圍 Z軸 (mm) | 450 |
| 驅動速度 CNC mode 最大合成速度 (AUTO) (mm/s) | 200 |
| 驅動加速度 (最大合成加速度) (mm/s²) | 980 |
| 最小顯示量 (mm) | 0.00001 |
| 引導方式 (各軸) | 氣壓軸承 |
| 測長單元 | 線性編碼器 |
| 測量物最大高度 (mm) | 700 |
| 本體使用空氣壓力 (MPa) | 0.5 |
| 本體空氣消耗量 (L/min) | 120 |
| 測量台材質 | 鑄鐵 |
| 測量台大小 (載物面) (mm) | 550 x 750 |
| 測量物最大載重 (kg) | 250 |
| 測量台固定方式 (mm) | M8x1.25 |
| 本體質量 (含減震台與控制器) (kg) | 3500 |